第一章 绪论（2学时）

了解：

1． 薄膜科学与技术发展的历史及对高技术产业的支撑作用；

2． 薄膜的特性（尺寸效应、表面/界面效应、膜基关系）；

3． 现代薄膜技术及材料的应用实例；

掌握：

1． 薄膜的定义；

2．薄膜材料的特性；

3．薄膜材料的分类及常用电子薄膜材料；

4．薄膜材料与技术研究的问题及相互关系。

第二章 真空技术（2学时）

了解：

1. 真空技术的发展；

2. 复合抽气系统和复合真空计。

掌握：

1. 真空基础知识

2. 真空的获得

3. 真空的测量

第三章 薄膜制备技术（10学时）

了解：

1. 薄膜制备技术的发展历史；

2. 薄膜制备的基本思想及基本方法；

3. 薄膜制备技术—真空物理技术发展中的互相促进关系。

掌握：

1. 真空蒸发镀膜技术

2. 溅射镀膜技术

3. 离子镀膜技术

4. 化学气相沉积技术

5. 化学溶液镀膜技术（溶胶-凝胶法、阳极氧化法、电化学沉积、LB法）

第四章 薄膜材料的生长与结构（8学时）

了解：

1. 薄膜形成的常规物理过程；

2. 薄膜生长的计算模拟技术；

掌握：

1. 薄膜的吸附凝结过程

2. 稳定核概念及成核理论

3. 岛状核心的长大的机制

4. 薄膜的生长模式及界面失配对生长模式的影响

5. 薄膜的结构

6. 薄膜的缺陷。

7. 外延薄膜

第五章 薄膜的力学性质（4学时）

了解：

1. 薄膜力学性质与薄膜性能及器件质量的关系；

2. 薄膜附着性能与器件寿命的关系；

3. 薄膜应力对薄膜物化性质的重要影响。

掌握：

1. 薄膜的附着性能

2. 薄膜的应力

第六章 金属薄膜的电导（4学时）

了解：

1. 薄膜电导性质与体材料电导性质的区别与联系；

2. 薄膜电导机制的物理推导。

掌握：

1. 岛状薄膜的电导特性

2. 外因对岛状薄膜电导的影响

3. 网状薄膜的电导特性

4. 连续薄膜的电导特性

第七章 导电与电阻薄膜材料（4学时）

了解：

1. 薄膜材料研究方法；

2. 薄膜制备技术—典型材料发展中的互相促进关系。

掌握：

1. 导电薄膜材料

a) 导电薄膜的功能与要求；

b) 导电薄膜的种类及材料体系；

c) 金属化

2. 电阻薄膜材料

a) 电阻薄膜应用及常用性能指标、性能要求；

b) 常用电阻薄膜材料体系；

c) 电阻薄膜结构、性能及制备；

d) 典型电阻薄膜材料及制备

e) 电阻薄膜材料的研究方向及进展。

第八章 介电、铁电和热释电薄膜材料（4学时）

了解：

a) 电介质概念，铁电和热释电薄膜的物理特性；

b) 薄膜制备技术—材料结构—薄膜性能相互影响的辩证关系；

掌握：

1. 介质薄膜材料

a) 电介质概念及物理特性；

b) 介质薄膜材料体系及用途；

c) 介质薄膜材料制备方法及对介质性能的影响；

d) 典型介质薄膜材料、制备及性能改进；

e) 介质薄膜的前沿研究热点。

2. 铁电薄膜材料

a) 铁电薄膜的物理特性及典型应用；

b) 铁电薄膜的主要性能要求；

c) 铁电薄膜制备难点（疲劳现象）；

d) 典型铁电薄膜；

e) 铁电薄膜研究热点；

3. 热释电薄膜材料

a) 材料热释电性质及典型热热释电体；

b) 实用热释电薄膜对材料性能的要求；

c) 典型热释电薄膜材料及制备技术。

第九章 超导薄膜材料（2学时）

了解：

a) 超导现象及效应；

b) 超导材料研究进展；

c) 实用化超导薄膜的性能要求；

掌握：

1. 高温超导薄膜的制备方法；

2. 高温超导薄膜的制备的难点及需要解决的关键问题；

3. 典型高温超导薄膜材料及制备（YBCO）。