1、推荐教材
《薄膜技术与薄膜材料》，田民波编著，清华大学出版社(2006年)
2、参考资料
1.《Materials Science of Thin Films》，Milton Ohring, ACEDMIC PRESS，Second Editon,2001
2.《薄膜物理》，曲喜新等主编，电子工业出版社 （1994年）
3.《电子薄膜材料》，曲喜新、杨邦朝等编著，科学出版社（1996年）
4.《新型电子薄膜材料》，陈光华，邓金详等编著，化学工业出版社（2002年）
5.《薄膜物理与技术》，杨邦朝、王文生主编，电子科技大学出版社（1994年）
