薄膜材料与技术

本课程旨在为电子科学与技术、材料科学与工程及光电科学与工程等专业的研究生讲授薄膜物理方面的理论知识、主流的薄膜制备技术和典型电子薄膜材料的研究背景及发展现状。本课程将各种薄膜制备技术涉及到的物理、化学与工程背景进行梳理，结合最新研究与技术研讨，有助于上述学科领域研究生掌握各种薄膜制备技术的原理及适用范围，并接触到薄膜科学与技术研究前沿，为开展进一步科研创新工作奠定基础。