
等离子体物理介绍
等离子体技术分为高温等离子体和低温等离子,低温等离子体技术可以应用在国家微电子产业,而高温等离子体技术可以应用在受控热核聚变方面的研究。
等离子体应用及其广泛,具体体现在以下工业和制造行业。
1)磁流体发电,节能材料 (Low-E film, 热障材料),太阳能电池(a-Si film)和能源工程(等离子开关,断路器、氢闸流管)。
2)信息元件,分立元件(高功率射频管)、集成电路芯片。
3)新材料制备。
4)冶金、机械加工。
5)化工,等离子催化。
6)农业。
8)食品。
10)纺织。
11)照明、广告。
12)基于等离子设备和器件的微电子产业。如等离子刻蚀机和薄膜趁沉积。
微电子和受控核聚变领域是国家大力发展的产业,其中受控热核聚变领域的科学技术研究从跟跑,并跑,到现在部分领域领跑的阶段。