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教学评价
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本课程是微电子行业的材料及工艺方向研究生的一门学科基础课。通过对本课程的学习，帮助学生了解基础材料工艺实验的基本原理和分析方法，为今后从事微电子器件设计、工艺制造和电子材料工程等方面的学习工作打下良好的基础。课程教学的基本要求是掌握几种无源元件的基本概念、基本原理，其对应的工艺实验的具体操作，如电子束蒸发镀膜实验、光刻实验。使学生掌握基片清洗、金属蒸发、光刻胶涂覆、金属图形刻蚀等实验过程，电子薄膜实验的基本技能，为研究生期间的科学研究打下较好的实验基础。
同时，本课程坚持实验实践鱼思政建设高度统一的教学方式。如在电子束蒸发镀膜实验中坚持理论和实践的辩证统一，了解电子束蒸发的原理是能掌握好电子束蒸发技术的前提，而通过具体的实验操作进行实践尝试才能更高的理解理论内容。所以要正确的理论才能指导实践，积极地实践促进对理论的理解。将切实的思政理论与具体的实验过程相结合，让实验实践过程与实验原理及思政理论高度结合的教学方式意义重大。
