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课程目标
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该实验是关于电子薄膜实验技能和方法的基础训练。为了满足从不同本科教育背景的研究生对元器件工艺特别是薄膜沉积和器件加工实验操作的要求，选择了包括基片切割、清洗、金属蒸发、光刻胶涂覆、金属图形刻蚀等实验过程，使学生能够有效掌握薄膜的形成和后期加工的整个技术流程。另外对真空系统、膜厚测量方面的讲解，让学生掌握薄膜设备和测量的原理与方法。
通过这样的培养过程，促使学生掌握电子薄膜和薄膜元件加工实验的基本技能，为研究生期间的科学研究打下较好的实验基础。
