本课程在学习微电子集成电路基础理论的基础上突出实际运用,使学生掌握超大规模集成物理、纳米尺寸器件物理和相应的设计方法,以适应社会的需求。课程主要讲述CMOS器件尺寸缩小面临的挑战、超大规模集成物理,以及纳米CMOS器件的栅工程、衬底工程及新型器件结构。
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