教材：
[1] Xiao-sheng Zhang, Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting [M]. Springer, 2019.
参考资料：
[1] Gregory T.A.Kovacs. Micromachined Transducers Sourcebook [M]. McGraw-Hill Science, 1998.
[2] 张海霞， 缪旻，方东. 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 [M]. 科学出版社，2014.
[3] 王中林（著）. 王中林，秦勇，胡又凡（译）. 自驱动系统中的纳米发电机 [M]. 科学出版社，2012.
