本课程是电子科学与技术专业硕士/博士研究生的一门选修课。设置本课程的目标在于，使学生通过本课程的学习，了解“微机电系统”这一技术领域的概貌，初步建立起有关“柔性MEMS技术及系统集成”的基本概念，掌握基本分析方法，为从事MEMS系统与集成等方面有关的研究工作打下基础。通过本课程的学习，学生应掌握微机电系统的基本工作原理、基本概念和分析方法，具有初步的分析和设计柔性MEMS器件及系统集成的能力。
研究生精品课程建设
研究生精品课程建设
本课程是电子科学与技术专业硕士/博士研究生的一门选修课。设置本课程的目标在于，使学生通过本课程的学习，了解“微机电系统”这一技术领域的概貌，初步建立起有关“柔性MEMS技术及系统集成”的基本概念，掌握基本分析方法，为从事MEMS系统与集成等方面有关的研究工作打下基础。通过本课程的学习，学生应掌握微机电系统的基本工作原理、基本概念和分析方法，具有初步的分析和设计柔性MEMS器件及系统集成的能力。
